技術編號：7183504
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及太陽電池制造，尤其涉及在太陽電池生產的過程中使用的石墨舟ο背景技術在硅基體太陽電池的制造工藝過程中，通常需要采用薄膜沉積工藝進行硅片的鍍膜，例如可采用 PECVD (Plasma Enhanced Chemical VapourD印osition，等離子增強化學氣相沉積)的沉積工藝對硅片進行氮化硅的真空鍍膜，使在硅片表面形成防反射層(鈍化層)。下面對硅基體太陽電池制造工藝進行簡介。在太陽電池制造過程中，在進行硅片表面鍍膜時，將未鍍膜的硅片插入PE...
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