技術編號：7165026

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發(fā)明涉及一種半導體結構及其制作工藝，特別是涉及一種具有含氟的金屬層的半導體結構及其制作工藝。背景技術在現(xiàn)有半導體產(chǎn)業(yè)中，多晶硅廣泛地應用于半導體元件如金氧半導體(metal-oxide-semiconductor,M0S)晶體管中，作為標準的柵極填充材料選擇。然而，隨著MOS晶體管尺寸持續(xù)地微縮,傳統(tǒng)多晶娃柵極因硼穿透(boron penetration)效應導致元件效能降低，及其難以避免的空乏效應(depletion effect)等問題,使得等效的柵...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。

詳細技術文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

該分類下的技術專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 賀老師：氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學及工程應用
• 楊老師：工程電磁場與磁技術，無線電能傳輸技術
• 許老師：1.氣動光學成像用于精確制導 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預測 3.故障診斷和健康管理
• 王老師：智能控制理論及應用；機器人控制技術
• 李老師：1.自旋電子學 2.鐵磁共振、電磁場理論
• 寧老師：1.固體物理 2.半導體照明光源光學設計實踐 3.半導體器件封裝實踐
• 楊老師：1.大型電力變壓器內絕緣老化機理及壽命預測 2.局部放電在線監(jiān)測及模式識別 3.電力設備在線監(jiān)測及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術及新型絕緣材料的研究
• 王老師：1.無線電能傳輸技術 2.大功率電力電子變換及其控制技術