技術編號：7147561
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明總體關于一種晶片承載器，用于支撐、約束、存儲以及精確定位在集成電路生產中使用的半導體晶片盤。尤其是，本發明是關于用于晶片容器的鎖閉機構。背景技術 在把半導體晶片加工成最終的電子元件的過程中通常需要對晶片進行處理和加工多個加工步驟。晶片價值很高，并且非常易碎，容易被物理損壞和電擊損壞。此外，連續的加工對清潔度，避免顆粒和其它污染物的要求極高。因此，用于晶片加工，處理和運輸過程中的專門容器或者承載器被改進。這些容器保護晶片免受物理和電的損壞，并且可密封地...
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