技術(shù)編號(hào)：7146705

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本發(fā)明屬于激光領(lǐng)域，特別涉及一種腔外四倍頻紫外激光器。背景技術(shù)由于紫外激光具有高分辯和材料強(qiáng)吸收等特點(diǎn)，近些年在國際上迅速發(fā)展。波長為355nm的Nd YV04Nd YAG激光加工機(jī)已主導(dǎo)了精細(xì)加工，特別是多層、高密度印刷電路板的精密打孔設(shè)備市場，在特種材料加工、集成電路分析等應(yīng)用上，也顯示出巨大優(yōu)勢。然而波長更短的四次諧波紫外激光(如266nm)相對(duì)于三次諧波(如355nm)的紫外激光器具有更加明顯的優(yōu)勢，如具有高的光子能量，更加優(yōu)良的材料吸收特性和更好...
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