技術(shù)編號(hào)：7113454

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本發(fā)明總體上涉及自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)，尤其涉及一種允許空中升降機(jī)直接從在制品(WIP)存儲(chǔ)單元拾取WIP部件，從而增加整個(gè)物料搬運(yùn)系統(tǒng)的效率。背景技術(shù) 自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)是已知的，其在產(chǎn)品制造環(huán)境中應(yīng)用WIP存儲(chǔ)單元和空中升降機(jī)存放WIP部件，并在各工位和/或加工機(jī)器之間傳輸。例如，這樣的自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)通常在制造集成電路(IC)芯片中應(yīng)用。IC芯片的典型制造工藝包括多個(gè)步驟，其中包括沉積、清洗、離子注入、蝕刻以及鈍化。此外，IC芯片制造...
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