技術編號：7112239
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明通常涉及微電子技術，特別是用于微電子組件中熱耗散的設備以及制造該設備的方法。背景技術 近來，微電子技術取得了迅速發展，由此使得微電子元件變得更小，而微電子元件中的電路變得日益密集。由于電路密度的增加，導致熱量產生也增加。這樣，熱耗散對于微電子技術的發展就變得越發關鍵。通常，各種技術可用于消除和耗散由微電子元件產生的熱量，該微電子元件也可稱為微電子芯片(microelectronic die)。這些技術包括被動或主動的解決方案。一種可以被分類為被動解決...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。