技術編號:7107702
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明半導體,特別涉及一種。背景技術在放大電路中擔任末級輸出的器件叫基于倒置工藝的射頻功率管。現有射頻功率管多為多個硅基場效應管并聯而成,但由于受到溝道層材料的遷移率的限制,射頻功率管性能提升空間有限。因此,研發新型材料、新型結構的射頻功率管成為研究熱點。近年來,研究表明石墨烯材料具有本征載流子遷移率高、強場漂移速度高、電流承載能力高(比金屬高一個數量級)、面內熱導率高等優異性能特點。又因為該材料具有規模化制備材料的潛力,有望成為目前的Si基COMS的附加...
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