技術編號:7071442
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及用于搬運基板的機器人系統。背景技術常規上,已知一種用于將收納在收納盒中的諸如半導體晶片或者玻璃基板(下文稱為“晶片”)搬運到特定位置的機器人系統。還提出了一種機器人系統,其中由傳感器來感測以多個層次收納在收納盒中的各個晶片的位置,以檢測突出的晶片或者傾斜收納的晶片(例如,參見日本專利申請公報No.2010-219209)。然而,常規的機器人系統遭遇了并不總是能夠有效地卸載收納盒中收納的晶片的問題。 例如,有可能常規的機器人系統無法有效地卸載晶片,...
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