技術編號:7070096
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供一種嵌入式焊墊結構,形成于芯片的頂層金屬層上,所述嵌入式焊墊結構至少包括鈍化層,形成于所述頂層金屬層上;所述鈍化層具有露出所述頂層金屬層的開口;通孔金屬層,沉積于所述開口中;所述通孔金屬層具有露出所述頂層金屬層的特定形狀的溝槽;金屬焊墊層,填充于所述溝槽中直至覆蓋于所述通孔金屬層和鈍化層表面,形成嵌入式焊墊結構。通過將焊墊制作成嵌入式焊墊,使焊墊金屬層和頂層金屬層緊密結合,粘附性增強,從而降低焊墊剝離的風險,提高芯片的可靠性。專利說明一種嵌入...
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