技術編號：7050880
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種基于光學天線的太赫茲探測器，包括多晶硅材料層制成的光學天線、晶體管或場效應管；光學天線分別置于晶體管的源極和漏極兩端，天線邊緣距離晶體管柵極邊緣間距為100～500nm，光學天線與晶體管源端、漏端和柵端通過標準工藝中填充氧化物隔開；光學天線與晶體管柵極采用同一層多晶硅材料，但摻雜通過其他工藝來單獨實現，其厚度為100～300nm；光學天線采用偶極子天線、領結形天線天線結構，多晶硅材料的摻雜濃度為1017～1020；光學天線的太赫茲探測器工作方案為，在晶...
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