技術編號：7037843
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種制作外延結構的方法包括提供包括一個或多個外延層的晶片。該晶片被劃分成管芯，其中管芯之間的區域被叫做管芯間隔。每個管芯間隔具有形成在管芯間隔的每個邊上的槽。槽穿過外延層但是不穿過襯底，讓在槽之間的外延層的一部分完好無損，從而產生“W”形截面。然后在晶片上形成保護層。可使用激光將晶片分割成單獨的管芯。激光劃分槽之間的每個管芯間隔。外延層的障壁保護單獨的管芯不受由激光分離所產生的碎屑的影響。專利說明用于產生W-臺面管芯間隔的方法和裝置 [0001]本公...
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