技術編號：7004499
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明的具體實施例大體涉及用于真空處理系統的負載鎖定室，且更具體地說， 涉及具有分離間隙閥門密封隔間的負載鎖定室。相關技術描述薄膜晶體管及光伏特裝置為兩種快速發展的科技領域。由平板技術形成的薄膜晶體管(TFT)可廣泛運用于有源矩陣顯示器如計算機及電視屏幕、移動電話顯示器、個人數字助理(PDA)、以及日漸增加的其它裝置。一般而言，平板至少包含兩塊玻璃板，二塊玻璃板之間夾有一層液晶材料。玻璃板的至少其一包括設置于其上、耦合至電源的導電薄膜。由電源供應至導電薄膜...
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