技術編號：6988648
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明主要涉及將半導體材料連續沉積在襯底材料的移動幅材上的卷對卷設備。更特別地，本發明涉及包括如下組件的卷對卷系統，所述組件用于隨著襯底材料的豎直布置的細長幅材從其中穿過而支持和引導該幅材的一個末端部分。特別地，本發明涉及一種用于連續生產光電裝置的系統。背景技術已對于半導體結構如光電裝置的大量制造研發出了一些系統和方法。在這樣的工藝中，從放出倉室(payout chamber)通過多個沉積站連續進給一個或更多個襯底材料幅材，其中該襯底材料通常為不銹鋼或復合...
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