技術編號：6979712
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。,包括該接觸結構的薄膜晶體管陣列襯底及其制造方法本發明涉及一種用于薄膜晶體管陣列襯底的引線接觸結構，及其制造方法。背景技術 一般而言，引線組件形成在半導體器件中，用于傳送信號，同時要考慮最小化信號延遲的需求。為了最小化信號延遲，引線組件通常由低電阻金屬材料(例如鋁和鋁合金)形成。然而，由于鋁基金屬材料具有很弱的物理化學特性，因此當引線組件與接觸區的其它導電材料相接觸時，易于在引線組件處發生侵蝕，并且這使得半導體器件的性能特征劣化。特別是對于液晶顯示器的情況...
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