技術編號：6960696
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種新型的可調諧垂直腔面發射激光器結構和制備方式，屬于半導體光電子器件。背景技術波長可調諧垂直腔面發射激光器(VCSEL)是光電子器件領域中的一個研究重點。 VCSEL以其波長可調、成本低、體積小、可集成、與光纖耦合效率高等優點在高密度信息光通信、全球定位系統(GlcAal Positioning SyStem，GPS)(原子鐘)、高性能計算機、電子產品控制(激光鼠標)、傳感、氣體探測和光譜分析等領域有著重要的應用。然而，寬范圍波長可調諧VCSE...
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