技術(shù)編號(hào)：6941205

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本發(fā)明涉及一種使用氧化物半導(dǎo)體的半導(dǎo)體裝置及該半導(dǎo)體裝置的制造方法。背景技術(shù)金屬氧化物的種類繁多且用途廣。氧化銦作為較普遍的材料被用于液晶顯示器等 中所需要的透明電極材料。在金屬氧化物中存在呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性的金屬氧化物。呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性的金屬氧化 物是化合物半導(dǎo)體的一種。化合物半導(dǎo)體是指兩種以上的原子結(jié)合而形成的半導(dǎo)體。通常， 金屬氧化物成為絕緣體。但是，已知也存在根據(jù)構(gòu)成金屬氧化物的元素的組合而金屬氧化 物成為半導(dǎo)體的情況。例如，已知在金屬氧化物中，氧化鎢、...
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