技術編號:6931370
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及雙色碲鎘汞紅外探測器,尤其涉及一種紅外雙色碲鎘 汞探測器臺面鈍化方法。背景技術雙色碲鎘汞紅外探測器可以同時探測兩個波段的信號,有利于更準確判斷追蹤目標,而鈍化技術是研發雙色^測器的關鍵技術之一 。好的表面鈍化工藝 可以減少碲鎘汞表面損傷,決定碲鎘汞器件表面的界面態,降低器件表面漏電 流。而表面漏電流占碲鎘汞反向飽和電流的主要部分。致密、高阻的鈍化層, 可以很好的降低碲鎘汞器件表面復合速度和1/f噪聲效應,提高探測器動態電阻 和反向擊穿電壓,大大改...
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