技術編號：6930890

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本發(fā)明屬于微型電池的制造技術范圍，特別涉及基于MEMS技術的一種應用 于微系統(tǒng)的三維結構微型鋅鎳電池及其制備方法。技術背景電子產(chǎn)品小型化、微型化、集成化是當今世界技術發(fā)展的大勢所趨。微電子 機械系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical Systems簡稱MEMS)具有移動性、自控性、集成化等特點，是近年來最重要的技術創(chuàng)新之一。當一個子系統(tǒng)可以集成在一塊 芯片上時，電源也必須完成小型化、微型化的革命。MEMS微能源系統(tǒng)是指基于MEMS技術，將一...
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