技術(shù)編號(hào):6924607
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的近似技術(shù)。更具體地,本發(fā)明涉及晶片未知參 數(shù)的預(yù)測(cè)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造業(yè)中,需要測(cè)量和預(yù)測(cè)某些晶片參數(shù)。一個(gè)這樣的參數(shù)是疊對(duì)誤差。 疊對(duì)誤差指晶片不同層上結(jié)構(gòu)的相對(duì)位置。疊對(duì)誤差越大,則結(jié)構(gòu)對(duì)偏(misalign)越多。 如果整個(gè)晶片上的疊對(duì)誤差太大,則包括該晶片的電子器件的性能可能降低。在被稱為批 次處置的工藝中,半導(dǎo)體生產(chǎn)商確定取自很多晶片的樣品晶片的疊對(duì)誤差。如果跨該樣品 晶片的疊對(duì)誤差不滿足某一標(biāo)準(zhǔn),則該批次可以被丟...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
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- 楊老師:工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù),無(wú)線電能傳輸技術(shù)
- 許老師:1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
- 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
- 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
- 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
- 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
- 王老師:1.無(wú)線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)