技術編號：6905498
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種硅片腐蝕單面保護夾具，適用于集成電路以及微機電系統(MEMS)制 造中的濕法、電化學化學腐蝕工藝。背景技術在半導體集成電路和微機電系統(MEMS)制造的工藝過程中，濕法腐蝕工藝一直是一 種去除材料的工藝方式，被廣泛應用。隨著集成電路及微機電系統(MEMS)制造工藝的發 展，傳統的只在硅片單面進行加工的方式已不能滿足需求。特別是MEMS工藝制造中，硅片 的兩面均需要加工，硅片兩面工藝的條件通常不相同，當對硅片一面進行化學腐蝕或電化學 腐蝕時，而...
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