技術(shù)編號(hào)：6902029

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背景技術(shù)本發(fā)明提供了使用靜態(tài)混合器和液-液離心機(jī)的組合來(lái)分離成膜樹脂的低分子量低聚物的方法。低分子量低聚物適用于增強(qiáng)光致抗蝕劑組合物的感光速度(photospeed)。再者，這些低分子量低聚物的衍生物(如低聚物與重氮基萘醌化合物的酯化產(chǎn)物)自身是光敏的，并可用于光致抗蝕劑組合物中。因而，本發(fā)明還提供了制備包含所述低分子量低聚物或所述低分子量低聚物的衍生物的光致抗蝕劑組合物的方法。本發(fā)明還提供了通過(guò)利用前述低分子量低聚物或它們的衍生物在基材上形成圖象來(lái)制備半...
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