技術編號：6890504
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種研磨工件的表面時用以保持工件的研磨頭、以及具備此研磨頭的 研磨裝置，特別涉及一種保持工件于橡膠膜的研磨頭、以及具備此研磨頭的研磨裝置。背景技術作為研磨硅芯片等的工件表面的裝置，有分別研磨工件的單面的單面研磨裝置、 以及同時研磨工件的雙面的雙面研磨裝置。一般的單面研磨裝置，例如圖9所示，是由貼附有研磨布94的轉盤(平臺)93、研 磨劑供給裝置96、以及研磨頭92等構成。如此的研磨裝置91中，先以研磨頭92保持工件 W，然后從研磨劑供給機構96供...
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