技術編號：6887156
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。概括而言，本發明乃關于以激光來處理工件。本發明尤其關于激光處理設 備，其提供至少兩個實質獨立的工件握持器。本發明尤其更關于激光處理設備， 其能夠操控至少兩個實質獨立的工件握持器，而允許兩個或更多個工件同時通 過不同的處理步驟。處理步驟可以包含裝載、校準、微加工、檢視或卸載工件。 本發明允許-敝加工一個或更多個工件，同時一個或更多個額外工件則通過其它 的處理步驟，而不會實質改變或延誤整體的處理。背景技術工件的范例尤其包含半導體晶圓、印刷或蝕刻線路或電路板、建...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。