技術編號：6873685
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種互穿聚合物(interpenetrating polymer )網絡結構體(network structure )的制造方法。另夕卜，本發明還涉及研磨墊及其制造方法。特別是涉及將形成在硅等半導體襯底上的絕緣層表面或金屬布線表面平坦化的研磨墊。背景技術專利文獻1中公開了由聚氨酯和聚合乙烯化合物得到的聚合物構成的研磨墊。另外，專利文獻2中公開了一種研磨墊的制造方法，所述制造方法包含將高分子成型體浸漬到含有聚合用單體的溶液中后，使單體發生聚合反應的...
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