技術編號：6857518
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種柱腳型儲存節與其接觸插塞的結構及制造方法。柱腳型(pedestal)的儲存節(storage node)結構在相同設計規格(design rule)的條件下，能夠比圓筒型(cylinder)及凹陷型(concave)的儲存節結構具有較多的電容面積。然而，目前在柱腳型儲存節結構制造中的兩大困難是使用Pt電極時，蝕刻輪廓角度與臨界尺寸不易控制，以及對準失誤所造成的阻障層曝露問題。因此，H.Horri等人于「A Self-aligned Stack...
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