技術編號：6839724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型是有關于一種半導體組件，且特別有關于一種具有硅化反應所形成的柵極的半導體組件。背景技術互補型金屬氧化半導體(complementary metal oxide semiconductor；CMOS)組件，例如金屬氧化半導體場效晶體管(metal oxide semiconductorfield-effect transistors；MOSFETs)，已于超大規模集成電路(ultra-largescale integrated；ULSI)組件制造中...
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