技術編號：6825636
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及電極，尤其涉及靜電懸浮的操作電極。在超大規模集成電路加工、精密電子元器件制作、光學與精密機械制造等過程中，目前多采用機械手對硅片Wafer、CD片、LCD片和其它表面超精加工的精密元器件進行接觸操作，由此造成的表面污染和摩擦損傷，是制約這些精密元器件質量和性能的主要因素。解決這一問題十分必要和迫切，而采用懸浮技術是一種最佳的解決方法。現有的懸浮技術以磁懸浮為主，它基于磁極與懸浮體之間的電磁力，分別以德國的常導磁懸浮和日本的超導磁懸浮為代表。已...
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