技術編號：6807181
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種可用能束固化的親水性壓敏粘合劑組合物及其使用。更具體而言，本發明涉及一種壓敏粘合劑組合物，它適合用于晶片表面的保護性壓敏粘合劑片，在研磨晶片背面期間用于保護在晶片表面上形成的線路圖形不受研磨粉塵影響。通過如蝕刻或消除法(1iftoff)，可以在諸如硅或砷化鎵的半導體晶片表面形成線路圖形。在其表面有形成的線路圖形的晶片，一般在其有線路的表面覆蓋一壓敏粘合劑片，以這樣方式，用如研磨機拋光晶片背面。研磨有線路的晶片背面的首要目的是除去蝕刻步驟中在晶...
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