技術編號:6806559
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及的是具有光電轉換功能的非晶硅/鐵電陶瓷復合薄膜及其用途,屬于微電子學和光電子。當前,世界各國所研制的硅集成電路與鐵電陶瓷薄膜復合,已制成16K存儲器,但鐵電轉換電場是由電訊號控制,如果能用光訊號控制,實現光電轉換,從而可進一步擴大這類復合薄膜的應用,可用于各類光電開關、光存儲器、光電傳感器等。本發明的目的在于提供一種具有光電轉換功能的全新的非晶硅/鐵電陶瓷復合薄膜以及由此類薄膜制備成的多種光電器件。這類復合薄膜提供全新的光控偏置電場,由外界光訊號...
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