技術編號:6788085
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明大體上涉及復雜半導體裝置的制造,尤其涉及利用側壁圖像轉移技術形成SRAM (Static Random Access Memory ;靜態隨機存取存儲器)裝置的多種方法。背景技術制造例如CPU (中央處理單元)、儲存裝置、ASIC (application specificintegrated circuits ;專用集成電路)等先進集成電路需要依據特定的電路布局在給定的芯片區域上形成大量電路組件,例如晶體管、電阻、電容等。場效應晶體管(field ...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發人員的辛勤研發付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。