技術編號：6779175
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及使用無機保護層和近場曝光制造母盤(master)的方法以及制造光盤的方法。背景技術在全尺寸HD(高清晰度)視頻時代的開始，由于數字廣播的普及，光盤記錄密度的增加從現在作為主流的DVD(數字通用光盤)進化到藍光盤(注冊商標)或HD-DVD。 在光盤的母盤處理的步驟中，通過使用激光曝光進行光刻以形成諸如凹坑和凹槽的圖案。但是，主要通過收縮曝光光斑以增加記錄密度。 當在母盤處理中通過具有數值孔徑(NA)的物鏡會聚波長為A的激光束時，曝光光斑直徑①為1....
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