技術(shù)編號(hào)：6750715

提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

高精度母盤(pán)刻錄系統(tǒng)的氣動(dòng)調(diào)焦裝置屬于光存儲(chǔ)，尤其設(shè)計(jì)母盤(pán)刻錄系統(tǒng)中的自動(dòng)調(diào)焦。光盤(pán)刻錄系統(tǒng)光學(xué)鏡頭的焦深Γ(即成像的清晰深度)取決于下式Γ＝0.5λ/NA2(1+β)其中NA＝0.95，λ＝0.4μm。根據(jù)計(jì)算可以得到，對(duì)于縮小倍率β＝X/10的光刻鏡頭，理論焦深僅為1μm，若要求高對(duì)比度(反差優(yōu)于60％)時(shí)焦深僅為0.4μm，成像的清晰深度隨鏡頭數(shù)值孔徑的增大而急劇縮小。在實(shí)際母盤(pán)刻錄過(guò)程中，還需減去感光層自身的厚度(此厚度一般為0.1-0.2μm)。所...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)無(wú)源代碼，用于學(xué)習(xí)原理，如您想要源代碼請(qǐng)勿下載。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家，請(qǐng)聯(lián)系客服

• 畢老師：機(jī)構(gòu)動(dòng)力學(xué)與控制
• 袁老師：1.計(jì)算機(jī)視覺(jué) 2.無(wú)線(xiàn)網(wǎng)絡(luò)及物聯(lián)網(wǎng)
• 王老師：1.計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)安全 2.計(jì)算機(jī)仿真技術(shù)
• 王老師：1.網(wǎng)絡(luò)安全；物聯(lián)網(wǎng)安全 、大數(shù)據(jù)安全 2.安全態(tài)勢(shì)感知、輿情分析和控制 3.區(qū)塊鏈及應(yīng)用
• 張老師：1.機(jī)械設(shè)計(jì)的應(yīng)力分析、強(qiáng)度校核的計(jì)算機(jī)仿真 2.生物反應(yīng)器研制 3.生物力學(xué)
• 許老師：1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
• 佟老師：1.機(jī)器視覺(jué)與圖像處理 2.腦機(jī)接口與人機(jī)交互 3.人體動(dòng)作檢測(cè)與識(shí)別
• 孫老師：1.機(jī)器視覺(jué)理論與應(yīng)用 2.智能養(yǎng)老康復(fù)機(jī)器人