技術(shù)編號：6674257
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。提供了一種。該材料管理系統(tǒng)用于把存儲在液體存儲容器中的液體提供給襯底，包括圍墻，用于容納多個處理液體存儲容器，所述多個處理液體存儲容器的每一個都具有一個或多個用于在其上存儲有關(guān)所述容器中的所述液體的信息的信息存儲元件；以及監(jiān)測、控制、通信裝置，所述監(jiān)測、控制、通信裝置包括讀取器，適于從液體存儲容器上的所述信息存儲元件讀出有關(guān)所述液體存儲容器的所容之物的信息；信息存儲器，適于存儲有關(guān)從所述圍墻內(nèi)的容器所需的液體的信息；以及處理器，被配置為處理從所述信息存儲元...
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