技術(shù)編號：63980

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技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及納米測量裝置，它是測量物體表面原子形貌的原子力顯微鏡的鏡體，主要由微懸臂、壓電陶瓷、步進機、變速系統(tǒng)、掃描隧道顯微鏡鏡體組成，其用途是作固體表面顯微分析與納米加工。 背景技術(shù)在ZL02 2 21502.6中公開了高精度掃描隧道顯微鏡的鏡體，它的目的是提供測針進給速度快，測針與樣品間隔調(diào)節(jié)精度高，樣品臺可精確位移，可精確定點測量與加工的高精度掃描隧道顯微鏡的鏡體，構(gòu)成是測針、待測樣品經(jīng)偏置電壓、微電流計組成隧道電流的測量回路，測針經(jīng)壓電陶瓷固定在測針座上，測針座經(jīng)鋼球被兩個調(diào)整桿，一個縱向電動...
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