技術(shù)編號：63937

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技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種掃描探針顯微鏡的自適應(yīng)多形變量程模式壓電陶瓷掃描器，能使同一個壓電陶瓷掃描器可以具有多個不同的最大形變量程掃描模式，并能夠進(jìn)行非線性校正自適應(yīng)，屬于顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域。 背景技術(shù)在納米技術(shù)領(lǐng)域，掃描探針顯微鏡(簡稱SPM)是必不可少的研究開發(fā)工具。1982年，IBM公司研制成功了世界上第一臺新型的表面分析儀器----掃描隧道顯微鏡。它的出現(xiàn)，使人類第一次能夠?qū)崟r地觀察單個原子在物質(zhì)表面的排列狀態(tài)和與表面電子行為有關(guān)的物理、化學(xué)性質(zhì)，在表面科學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的研究中有著重大的意義和...
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