技術(shù)編號(hào)：63899

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種在掃描電子顯微鏡中，注入微量氧氣，在氧環(huán)境中對(duì)氧化物和生物等類非導(dǎo)電材料直接進(jìn)行觀察和分析的方法及系統(tǒng)，屬于電子類領(lǐng)域。 背景技術(shù)掃描電鏡(SEM)是觀察和分析材料微觀形貌、成分和結(jié)構(gòu)的重要設(shè)備。采用普通掃描電鏡直接觀察非導(dǎo)電樣品時(shí)，會(huì)受到樣品表面荷電效應(yīng)的影響。即在高能入射電子束的輻照下，由于非導(dǎo)電樣品不能良好接地，多余的入射電子將被束縛在樣品中，造成樣品表面電荷積累，使樣品難以成像，或嚴(yán)重?fù)p壞圖像，使圖像產(chǎn)生嚴(yán)重變形或出現(xiàn)異常的像襯度。此外，在入射電子束的輻照作用下，樣品表面元素的電子可...
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