技術(shù)編號：63896

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種測量儀器，特別是一種介電損耗探針掃描顯微鏡及其測量方法。 背景技術(shù)現(xiàn)有的掃描隧道顯微鏡(STM)通常都是在直流偏壓下工作，但其改進(jìn)型有各種不同的工作方式，其中的掃描電容顯微鏡(SCM)使用了在交流偏壓下工作。在接觸式SCM的測量中，通過漏電流的變化可給出半導(dǎo)體樣品中載流子運動的二維圖像；而在原子力顯微鏡(AFM)基礎(chǔ)上制成的接觸式掃描電容顯微鏡(LM-SCM)則是測量導(dǎo)電樣品表面電容的二維圖像。上述掃描電容顯微鏡的報道，所用的裝置和方法以及測量對象均與本發(fā)明不同，已有的掃描電容顯微鏡沒有通過...
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