技術編號：6247902
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于氣敏材料與元件，具體是涉及。包括以下步驟步驟一、制備一塊襯底材料，在該襯底材料的表面首先鍍上底電極，再鍍半導體材料薄層，得到半導體氣敏元件；步驟二、在半導體材料薄層之上再鍍有無序型金屬膜系，最后鍍上點電極；步驟三、在半導體氣敏元件的半導體材料薄膜層上方設置紫外燈，將紫外燈、半導體氣敏元件固定在設有通氣孔的傳感器殼體內；本發明利用紫外光照射輔助技術提高納米半導體氣敏傳感器的靈敏度，降低傳感器工作溫度。專利說明 [0001]本發明屬于氣敏材料...
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