技術編號：6228771
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及太赫茲波檢測裝置、照相機、成像裝置以及測量裝置，能夠精度良好地將太赫茲波轉換為電信號。具備基底基板(2)、和在基底基板(2)上排列的多個第一檢測元件(9)，第一檢測元件(9)具有第一金屬層(21)，其被設于基底基板(2)；支承基板(26)，其與第一金屬層(21)分離地設置，并且吸收太赫茲波而產生熱；以及轉換部(35)，其被設置成在支承基板(26)的與第一金屬層(21)相反側層疊第二金屬層(32)、熱釋電體層(33)以及第三金屬層(34)，并且將由...
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