技術編號:6130454
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發明涉及表面形狀測定裝置。 例如,涉及對被測定物表面進行仿形掃描,從而測定被測定物的輪廓、表面粗糙度、彎曲度等的表面仿形測定裝置。 背景技術 已知對被測定物表面進行仿形掃描,從而測定被測定物的立體形狀的表面仿形測定裝置。 圖19表示作為利用了仿形探測器130的表面仿形測定裝置的測定系統100的結構。 該測定系統100包括使仿形探測器130移動的三維探測器110;進行手動操作的操作部分150;控制三維探測器110的動作的動作控制器160;通過動作控制...
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