技術編號：6129338
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及傳感器，特別涉及免封裝壓電驅動式微小型電場傳感器。 背景技術電場傳感器廣泛應用在氣象研究、航空航天、電力系統、靜電防護 以及地震預測等領域。現有的電場傳感器根據其工作原理大體上可分為光纖式和機械式兩 種，其中機械式電場傳感器的種類更豐富一些，應用更廣泛一些。已有的 機械式電場傳感器根據其體積大小，可分為采用傳統機加工工藝制作的電場傳感器和采用微機電技術(MEMS)制備的微型電場傳感器。前者的優點 是加工制作技術成熟，穩定性好，不足之處在于傳感器的...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。