技術(shù)編號:6099979
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及流體計量設(shè)備,特別是涉及一種測熱式微型流量傳感器。背景技術(shù) 隨著科技的發(fā)展,傳感器的微型化帶來了快速的響應(yīng)時間,低的功耗和對小流量精確測量的可能性,可滿足在化工,醫(yī)療,環(huán)境檢測,燃氣計量等領(lǐng)域里精確測量小流量的需求。其中,熱式流量傳感器具有簡單的機械結(jié)構(gòu)和電路結(jié)構(gòu),是目前微型流量傳感器的研究熱點。常用熱式流量傳感器主要分為風速計與測熱式兩種工作模式。與風速計相比,測熱式模式工作的傳感器具有對小流速良好的響應(yīng)特性,并且可以判斷流向,比較適合于氣體小...
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