技術編號：6092892
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本裝置屬于真空。目前市面上銷售的離子泵，多數是用于較大的真空系統，泵本身的體積與重量較大，泵的抽速較高(約10升／秒)，其主要功能是用于抽氣，不宜用作超高真空的準確測量。例如美國最新公開的一種用于超高真空抽氣的離子泵，載于J.Vac Sci.Technol.All(4)，J／Aug－1993，所介紹的具有高抽速的離子泵，也只能用于抽氣，而不能進行超高真空度的準確測量。因為常規的離子泵受到本身結構，以及電路連接方式的限制，測量到的放電電流中包含較大的漏電流...
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