技術(shù)編號：6088757

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本發(fā)明通常涉及在諸如陀螺儀的傳感器中的微機電系統(tǒng)(MEMS)，尤其是，涉及在該設(shè)備中靈活振動的元件的使用。背景技術(shù) 通過MEMS技術(shù)制造的電子傳感器設(shè)備在許多的領(lǐng)域中起關(guān)鍵作用。例如，微機械陀螺儀在運輸和商業(yè)應(yīng)用中已經(jīng)實現(xiàn)若干重要的控制系統(tǒng)。在許多的領(lǐng)域中還使用其它的微裝置，諸如通過MEMS技術(shù)制造的壓力傳感器、加速度計、致動器和諧振器。一種類型的微陀螺儀包含二個可活動的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量。該標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量通過支撐結(jié)構(gòu)懸掛在襯底之上。該標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量在該陀螺儀中通過電動機在相同...
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