技術編號：6079602
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明提供一種無塵車間內空氣分析方法及系統，在所述無塵車間內設置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數據進行與標準數據的比對及監控，對監控發現的異常數據并進行管理改善和處理；本發明保證產線內空氣中SO4情況被管理，以預防因其超管理線而導致的產品信賴性失效。專利說明 一種無塵車間內空氣分析方法及系統 [0001]本發明涉及半導體制造，特別是涉及一種無...
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