技術編號：6077642
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種微機電的徑向支撐體聲波硅微陀螺儀，包括圓盤形諧振子，側向支撐臂，圓弧形驅動電極，具有位移放大機構的電容檢測電極，檢測電極固定凸臺和基板。陀螺采用圓盤狀諧振子的2個面內四波幅波節頻率匹配模態作為驅動模態和檢測模態，陀螺的所有結構全部在(111)硅片上通過微機械電子加工工藝實現。陀螺利用在側向支撐的方式支撐圓盤形諧振子，通過靜電驅動和三角放大機構放大檢測模態的位移輸出的方法測量角速度的輸入，提高了陀螺的靈敏度，大大簡化了體聲波硅微陀螺的制作...
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