技術(shù)編號(hào)：6050923

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本實(shí)用新型涉及一種源漏極漏電流測(cè)試結(jié)構(gòu)，包括形成于一半導(dǎo)體襯底中的若干隔離溝槽、形成于所述隔離溝槽中的填充層、形成于所述隔離溝槽之間的第一摻雜區(qū)、以及第二摻雜區(qū)，所述填充層為彎折結(jié)構(gòu)。彎折結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)角處最容易產(chǎn)生位錯(cuò)，當(dāng)產(chǎn)生位錯(cuò)時(shí)，就能測(cè)到有源區(qū)和襯底的源漏極漏電流，進(jìn)而通過所述測(cè)試結(jié)構(gòu)判斷器件區(qū)中源漏極是否漏電及漏電的嚴(yán)重程度。專利說明 一種源漏極漏電流測(cè)試結(jié)構(gòu)[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種源漏極漏電流測(cè)試結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)[0002...
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