技術編號：6037527
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及仿人機器人、多指靈巧手、機器人柔順控制以及虛擬現實技術等機器人傳感器領域，特別涉及一種能夠同時實現對六軸向加速度信息敏感的一體化傳感器結構，以及實現對三軸向線加速度和三軸向角加速度信息獨立獲取方法的一種雙E型圓膜片十字梁結構的六軸加速度傳感器。目前廣泛采用的微電子機械技術所提出和生產的基本上是單軸向到三軸向加速度傳感器，而角加速度傳感器是以單軸向為主，無論是基于壓電、壓阻等結構的加速度傳感器，有一個共同的特點是傳感器內部都有慣性質量塊；另外有一種...
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