技術編號：6025649
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及粒子束顯微鏡以及操作粒子束顯微鏡的方法。更具體的，本發明涉及電子顯微鏡，例如掃描電子顯微鏡以及操作掃描電子顯微鏡的方法。背景技術當樣本被粒子束顯微鏡，例如電子顯微鏡，成像或處理時，它們通常被保存于樣本室中的真空環境中。樣本室通過真空泵被抽真空。一般，在較高真空且大約22. 5Τοπ·的范圍的樣本室中的真空水平下，用掃瞄電子顯微鏡進行測量。樣本室因此被設計成真空容器， 具有堅固的壁和凸緣，從而大氣泄漏的泄漏率能夠被保持的盡可能的低。因此，真空容器通...
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