技術編號：6022473
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種ArF準分子激光器，尤其涉及一種實時監測ArF準分子激光器腔內溫度的光纖光柵傳感器，屬于光纖傳感領域。背景技術在ArF準分子激光器中，作為激光工作增益介質的氣體存在最佳溫度范圍，在該溫度范圍內，激光器具有較高的能量轉換效率和輸出能量穩定性，所以輸出激光的性能在一定程度上取決于放電腔的工作溫度。而在準分子激光器工作時，高壓氣體放電及風機運轉等會引入大量廢熱，導致腔內溫度升高，若不能采取有效的散熱措施，會導致激光輸出質量下降，激光器能量轉換效...
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